星空-ASML将携全景光刻解决方案参加第七届进博会

[导读]在第七届中国国际进口展览会上，ASML延续“光刻将来，联袂同业”的主题，将经由过程与时俱进的交互式数字化情势重点展现其融会光刻机台、计较光刻和量测的全景光刻解决方案，帮忙客户晋升产能和良率。 2024年11月4日，中国上海——半导体行业的领先供给商ASML（阿斯麦）将在11月5日至10日加入第七届中国国际进口展览会（以下简称“进博会”），表态手艺设备展区集成电路专区4.1展馆A1-03展台。在本届进博会上，ASML延续“光刻将来，联袂同业”的主题，将经由过程与时俱进的交互式数字化情势重点展现其融会光刻机台、计较光刻和量测的全景光刻解决方案，帮忙客户晋升产能和良率。 （ASML在第七届进博会的展台） ASML全球履行副总裁、中国区总裁沈波暗示：“本年是我们第六次加入进博会。每一年一度的进博嘉会延续表现了中国扩年夜开放、鞭策合作的许诺，其传递的‘同享将来’理念与ASML的企业文化高度契合。借助此次进博会，我们但愿进一步加强行业表里对ASML全景光刻解决方案的认知。” 本年，ASML将在展台侧重介绍全景光刻解决方案下的三款利用普遍的DUV光刻机和一款新型的电子束量测装备，和计较光刻营业。参不雅者可以近距离感触感染ASML若何凭仗延续立异帮忙客户实现更多价值。 ● DUV产物： ◎ NXT:1470和NXT:870：这两款从XT气浮平台进级至NXT磁浮平台的干式DUV产物，能为客户显著晋升产能并下降单元本钱；此中NXT:1470是ASML第一款利用NXT平台，并实现每小时晶圆产量（wph）达300片以上的干式DUV机台。 ◎ XT:260：行将推出的XT:260机台是基在ASML独有的双工作台手艺，采取业界公认的XT4平台，具有双倍视场暴光的i-line光刻系统。该产物可以或许有用晋升机能并下降单片晶圆本钱，可撑持从进步前辈封装到主流市场的的普遍利用和成长趋向 ● 量测装备：eScan 1100是ASML第一代实此刻线缺点检测（物理缺点和电性缺点）的多束电子束检测系统，具有25条光束，可将晶圆量测吞吐量提高至单束量测系统的10倍以上。 ● 计较光刻营业：计较光刻首要利用在芯片的开辟与制造环节，经由过程优化成像光源与掩模板设计，实现更切确的图构成像和更好的芯片出产良率。 在展台上，ASML中国立异地借助人工智能生成内容（AIGC）手艺，以“光的路程”为主题，将ASML不竭鞭策科技前进的过程可视化——一缕从40年前公司创建之初出发的微光，现在已照耀至全景光刻解决方案的每条营业线，也点亮了现代科技糊口的每一个角落，终究穿梭到将来世界，开启全新的科技篇章。值此公司成立40周年之际，ASML也在展台上设置了到处可见的40周年数念元素和打卡区域。 在四十年的峥嵘岁月里，ASML一向致力在光刻手艺的研究和成长，实现了无数次的手艺冲破与立异，鞭策摩尔定律不竭向前成长。值得一提的是，自1988年交付首台步进式光刻机以来，本年也是ASML深耕中国市场的第36年。瞻望将来，ASML等候与合作火伴一路，助力半导体行业可延续成长。

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